王子ホールディングス／深紫外LED用微細構造体を新開発|紙業タイムス社・テックタイムス

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　王子ホールディングスはこのほど、深紫外LEDの光取出し性能を向上させる微細構造体を開発した。この微細構造体を、DOWAエレクトロニクスの開発する発光中心波長310nm帯の深紫外LEDに導入することで、世界トップクラスの90mWの出力を達成した。
　310nm帯の深紫外域は、樹脂硬化や皮膚治療などに用いられるが、設備の小型化、高出力化が望まれていた。王子が開発したナノレベルの微細加工技術を適用した微細構造体付サファイア基板を、DOWAエレクトロニクスの深紫外LEDに導入することで、従来の水銀ランプやエキシマランプなどに比べて設備が大幅に小型化し、光取出し効率も従来比約20％増（90mW）の高出力化を実現できた。
　同微細構造体を導入した310nm帯の深紫外LEDは、DOWAエレクトロニクスが4月から量産を開始する予定。

（Future 2018年2月26日号）